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東莞市眾升儀器有限公司
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
數(shù)字式薄層電阻測試儀,四探針薄膜電阻測試儀
ST2253 型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,它可以測量半導體材料的電阻率,測量擴散層的薄層電阻(亦稱方阻)。換上特制的四探針測試夾具,還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。
詳情介紹:
一、數(shù)字式薄層電阻測試儀,四探針薄膜電阻測試儀主要特點:
二、基本技術參數(shù)
儀器由主機、測試探頭(可選配測試臺)等部分組成,測試結果由主機數(shù)碼管直接顯示。也可連接PC機由配套軟件在PC機上操作,其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打??!
主機主要由精密恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
二、基本技術參數(shù)
2.1測量范圍
電阻率:10-4~105Ω-cm
方塊電阻:10-3~106Ω/□
電阻:10-4~105Ω
2.2可測半導體材料尺寸
直 徑: Φ15~100mm, 長(或高)度: ≤400mm
2.3測量方位:
軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數(shù)字電壓表:
⑴量程: 200mV
⑵誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
2.5數(shù)控恒流源
⑴電流輸出:直流電流 0~100mA 連續(xù)可調(diào),由交流電源供電。
⑵量程:1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA
⑶誤差:±0.5%讀數(shù)±2 字
2.6四探針測試探頭
(1)探針間距 1mm
(2)探針壓力: 0~2kg 可調(diào),*大壓力約 2kg
(3)探針:碳化鎢,Φ0.5mm
2.7.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功耗:<20W
外形尺寸:主機 260mm(長)×210 mm(寬)×125mm(高)